随着物联网成为现实,各类传感器应用也越来越广泛,如智慧城市、智慧、人工智能、无人驾驶、可穿戴设备等,且用于各种复杂环境和环境中。用于这些恶劣环境中的传感器,无疑会出现生锈、腐蚀、受潮等现象,致使工作。Parylene涂敷属于气相沉积的过程,气态的小分子能渗透到元器件的细小缝隙,均匀的形成一层无无气泡的防护膜,更好的起到防潮、防水、耐腐蚀的效果。
当 Parylene单体在真空里汽相沉积时,它会产生真正均匀的涂层。它不像传统液体涂层,Parylene 涂覆不会产生外溢和凹陷 。蒸气涂层 ****无小孔,派瑞林镀膜加工薄膜,能够渗透和涂覆非常复杂的几何图形的物体。标准的掩膜技术能够使那些不要涂覆的部分不被涂覆,派瑞林镀膜,更有甚者,Parylene产品能在相对较低的温度下涂覆,减少了伤害的危险,并且涂层的厚度也极易控制,能够在 1-100um的厚度里可调。
各个腔室良好的工艺结构设计又保证了Parylene膜的均匀性、 膜的质量、成膜的速率、材料的利用率等等。当然膜的质量和Parylene原料的纯净度、质量也有密切的关联。
Parylene的真空气相沉积工艺不仅和微电子集成电路制作工艺相似,而且所制备的Parylene涂层介电常数也低,还能用微电子加工工艺进行刻蚀制图,进行再金属化,因此Parylene不仅可用作防护材料,而且也能作为结构层中的介电材料和掩膜材料使用,经Parylene涂敷过的集成电路芯片,其25um细直径连接线,派瑞林镀膜加工耐腐蚀,连接强度可提高5-10倍。
随着物联网成为现实,各类传感器应用也越来越广泛,如智慧城市、智慧、人工智能、无人驾驶、可穿戴设备等,且用于各种复杂环境和环境中。用于这些恶劣环境中的传感器,无疑会出现生锈、腐蚀、受潮等现象,致使工作。
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