派瑞林镀膜技术 菱威纳米 派瑞林镀膜

随着物联网成为现实，各类传感器应用也越来越广泛，如智慧城市、智慧、人工智能、无人驾驶、可穿戴设备等，且用于各种复杂环境和环境中。用于这些恶劣环境中的传感器，无疑会出现生锈、腐蚀、受潮等现象，致使工作。Parylene涂敷属于气相沉积的过程，气态的小分子能渗透到元器件的细小缝隙，均匀的形成一层无无气泡的防护膜，更好的起到防潮、防水、耐腐蚀的效果。

当 Parylene单体在真空里汽相沉积时，它会产生真正均匀的涂层。它不像传统液体涂层，Parylene 涂覆不会产生外溢和凹陷 。蒸气涂层 ****无小孔，派瑞林镀膜加工薄膜，能够渗透和涂覆非常复杂的几何图形的物体。标准的掩膜技术能够使那些不要涂覆的部分不被涂覆，派瑞林镀膜，更有甚者，Parylene产品能在相对较低的温度下涂覆，减少了伤害的危险，并且涂层的厚度也极易控制，能够在 1-100um的厚度里可调。

各个腔室良好的工艺结构设计又保证了Parylene膜的均匀性、 膜的质量、成膜的速率、材料的利用率等等。当然膜的质量和Parylene原料的纯净度、质量也有密切的关联。

Parylene的真空气相沉积工艺不仅和微电子集成电路制作工艺相似，而且所制备的Parylene涂层介电常数也低，还能用微电子加工工艺进行刻蚀制图，进行再金属化，因此Parylene不仅可用作防护材料，而且也能作为结构层中的介电材料和掩膜材料使用，经Parylene涂敷过的集成电路芯片，其25um细直径连接线，派瑞林镀膜加工耐腐蚀，连接强度可提高5-10倍。

　 随着物联网成为现实，各类传感器应用也越来越广泛，如智慧城市、智慧、人工智能、无人驾驶、可穿戴设备等，且用于各种复杂环境和环境中。用于这些恶劣环境中的传感器，无疑会出现生锈、腐蚀、受潮等现象，致使工作。