原子层沉积是在一个加热反应器中的衬底上连续引入至少两种气相前驱体物种，化学吸附的过程直至表面饱和时就自动终止，适当的过程温度阻碍了分子在表面的物理吸附。
目前可以沉积的材料包括：氧化物，氮化物，氟化物，塑料真空镀膜，金属，真空镀膜涂料，碳化物，复合结构，硫化物，纳米薄层等。 中空纳米管，隧道势垒层，光电电池性能的提高，纳米真空镀膜，纳米孔道尺寸的控制，高高宽比纳米图形，微机电系统（MEMS）的反静态阻力涂层和疏水涂层的种子层，纳米晶体，ZnSe涂层，纳米结构，中空纳米碗，存储硅点涂层，纳米颗粒的涂层，纳米孔内部的涂层，纳米线的涂层。
派瑞林涂层薄膜的止回阀。微阀具有扭曲型的派瑞林涂层膜，真空镀膜， 当有流体顺流时， 派瑞林涂层薄膜抬起， 允许流体通过; 当有流体逆时，派瑞林涂层薄膜封住了通道阻止其流动。该结构的微阀顺流冲破压力小于0. 5 kPa， 逆流的制止压力达600 kPa以上， 同时具有较低的反向泄漏， 性能非常好。由于派瑞林涂层较小的杨氏模量， 产生了较大的变形， 基本可以忽略由薄膜引起的流体阻抗。单通道常闭微止回阀， 整个微阀和微通道都是由派瑞林涂层 C制成的， 其结构为在圆形阀座上的一个圆形的密封板。密封板是固定在子腔薄膜的顶部中心， 由于大气压强使子腔压缩到底部， 从而获得微阀的闭合模式。这种新型的子腔结构是通过没有层结构的释放和在真空条件下派瑞林涂层薄膜的气相沉积来实现的。通过减小密封板和阀座的重叠面积和溅射金属金来减小静摩擦力， 从而减小顺流冲破压力。此种结构的微阀的顺流冲破压力为20～40 kPa， 在逆流压力为270 kPa也不会出现可见的泄露现象。
真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件（金属、半导体或绝缘体）表面而形成薄膜的一种方法。例如，真空镀铝、真空镀铬等。Parylene HT（SCS）该材料具有更低的介电常数(即透波性能好)、好的稳固性和防水、防霉、防盐雾性能.短期耐温可达450摄氏度，长期耐温可达350摄氏度，并具有强的抗紫外线能力.更适合作为高频微波器件的防护材料。
Parylene真空镀膜以其良好的耐腐蚀、耐，、 低阻滞性、低摩擦系数及生物相容性，在国际临床运用的生物的表面涂层上，将逐步取代TiNi（镍钛）合金涂层而被列为*材料。如骨钉、探针、针头、临时手术器械、导尿管、制动器及耳蜗植入器，心脏起搏器、脑电极、植入式传感器、射频、血液分析传感器和高频手术刀等微型电子。
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